Smif foup 違い
Web1 Feb 2024 · 这种情况下,晶圆就需要使用内部环境为1级的密封盒foup或密封盒smifpod来盛放,当在不同的生产设备之间进行转运时容器处于关闭状态,当在特别设备进行生产 … WebThe Standard Mechanical Interface (SMIF) is appropriate for 200 mm wafers in semiconductors and functions similarly to the FOUP. Both SMIF and FOUP applications …
Smif foup 違い
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Webポッド. 英語表記:pod. 高度な局所清浄化によるクリーンルームのコスト低減などを目的に、被処理体(ウェーハ)を収納して保存、搬送などに用いる閉容器の総称。. 以下の主 … Web4 Dec 2001 · Asyst said the new SMIF-300FL series 3-EP 300-mm load port has been designed to enable tool suppliers to meet or exceed the toughest cleanliness requirements (better than ISO Class 2). The load port can be used with a variety of FOUPs, including the new G3 pod and the Gen2 model, said Asyst. The series 3-EP front-load system is flexible …
WebFOUP is an acronym for Front Opening Unified Pod or Front Opening Universal Pod.. FOUPs are a specialized plastic carrier designed to hold silicon wafers securely and safely in a controlled environment, and to allow the wafers to be transferred between machines for processing or measurement. FOUPs began to appear along with the first 300 mm wafer … Web半導体用語集. SMIF. 英語表記:standard mechanical interface. 製造装置間のインターフェースを統一する規格の一種。
WebSMIF Standard Mechanical Interface 複数枚のウェハを収納可能な密閉型ウェハ容器の一種で通常は SMIF と呼ぶ。底面に開閉機構を持つ。局所クリーン技術として200mm (8インチ) 時代に登場し、米国やアジアで先行し採用された。 Web半導体関連生産設備. 半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを …
Web半導体装置メーカーの業界団体であるSEMIによって規格化されたウエハ格納用ポッドのことをFOUPといい、FOUP内のウエハを半導体製造装置に出し入れするインタフェース …
Web4 Jun 2013 · 特許で命名されたStandard Mechanical Interface (SMIF:スミフ)という名前は、現在の直径200mmのシリコンウェーハ用の搬送ボックスシステムの固有名詞になっ … logitech g502 pilotesWeb安全にカセットを移動し、チャンバー等に浸漬することができるハンドルです。. 角型基板用 MASKシリーズ. ウェーハサイズ:125mm, 100mm, 60mm, 50mm. 材質:PFA. HMハ … logitech g502 mouse software downloadWeb7 Apr 2024 · SMIF(Standard Mechanical Interface)是一种标准机械接口、一种模块化设计、由一系列标准化的模块组成,使用SMIF可以大大减少工艺设备的边角、从而提高生产效 … infant christian memorial giftsWebモバイルロボットのオプションである高精度位置決め機能と協調ロボットのランドマークを活用した位置補正機能により開発設計工数と調整にかかる時間を大きく削減でき … logitech g502 moving by itselfWeb2 Dec 2024 · AUTO CLEANER, MANUAL CLEANER, SEMI AUTO CLEANER, POD CLEANER, CASSETTE CLEANER, FOUP CLEANER, BOX CLEANER, FOSB CLEANER, SMIF CLEANER, SHIPPER CLEANER, … infant christmas bodysuitWeb文献「smif・foup搬送を用いたクリーンルームにおけるウェーハ表面の汚染制御に関する研究」の詳細情報です。j-global 科学技術総合リンクセンターは研究者、文献、特許などの情報をつなぐことで、異分野の知や意外な発見などを支援する新しいサービスです。 infant christmas artWeb在载具和Fab智能化集成领域,为各类型Fab(化合物线、8寸自动线、8寸手动线、12寸线)提供一体化的解决方案,实现客户一站式服务,包括FOUP,SMIF,SMIF … infant christening headbands